尘埃粒子计数器其基本原理是传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号,该脉冲信号被输出并放大,然后进行数字信号处理,通过与标准粒子信号进行比较,将对比结果用不同的参数表示出来。仪器的测量参数设定、测量结果显示、定时、打印、时间等均由内置微机控制和实现,仪器可同时显示环境的温湿度并监测报告激光粒子传感器的工作状态。
尘埃粒子计数器选择时应该考虑的问题及因素:
预计收集什么类型的数据?将这些信息记录为简单的合格/不合格?还是将信息记录到电子表格或数据库中?
粒子计数器将用于什么类型的环境?是将其用于ISO3级洁净室进行常规颗粒计数,还是将其用于验证流动的关键工艺过程?
这个粒子计数器是否会被用于认证洁净室和从测试完一个位置以后然后到另一个位置?
操作人员是否将尘埃粒子计数器放在周围,是将其放置在关键的工艺的工作台上,还是将其安装在可以移动的小车上?
尘埃粒子计数器是否会被用来进行连续的动态的洁净室粒子监测?粒子计数器是否打算与环境监控系统连接?
尘埃粒子计数器计数效率:测量的颗粒浓度与真实颗粒浓度的比率。使用更灵敏的仪器测量真实的颗粒浓度,在被测仪器的最小颗粒尺寸下计数效率为100%。设计合理的仪器应具有50%的计数效率。零计数水平或虚假计数速率:使用经过滤的空气以最佳流速持续给定的时间量的错误报告的颗粒的数量。这个正确的报告是每5分钟的粒子数量。(期望的零计数率应该小于每5分钟1次)